日前，国家“十二五”科技创新成就展在北京举行。此次展览以“创新驱动发展·科技引领未来”为主题，共分为七个组成部分进行展示。其中，国家科技重大专项展示部分，向全国人民展示了“十二五”期间我国攻克的一批关键技术，研制的一批高端装备，推出的一批重大产品以及培育的一批具有国际竞争力的国内企业。其中，北京七星华创电子股份有限公司以“02专项”承担企业的身份参与了展示。

作为“02专项”的重点承担企业之一，北京七星华创电子股份有限公司先后承担了多项12吋集成电路工艺设备开发，涵盖90-14纳米技术代，研制产品包括立式氧化炉、LPCVD（低压化学气相沉积）、铜互连单片清洗机、气体质量流量控制器等。通过持续攻坚克难，七星电子 “02专项”项目在“十二五”期间取得丰硕成果。

其中，“12吋立式氧化炉”采用了先进的MBTC控温模型技术，大大提高了控温精度、最大限度地降低了热预算，完成了集成电路大生产线验证，实现了对国内主流集成电路芯片企业的销售，并受到用户企业的认可；“12吋铜互连单片清洗设备”采用了先进的兆声波清洗技术，使颗粒去除效率最高可达99%，产品已经完成大生产线验证，实现了对中芯国际供货；“12吋LPCVD设备”、“12吋高温炉设备”、“12吋硅材料清洗设备”均在国内产线实现应用；“质量流量控制器”也完成用户验证，部分核心技术上达到国际先进水平，产品已批量供应。“十二五”期间，七星电子立式炉和清洗设备在集成电路生产线实现配套12台，其技术延伸应用于泛半导体产业，实现销售500台以上。气体质量流量控制器实现半导体领域销售逾万台，出口美国3000台以上。