近日，由上海市计测院承担的上海市质量技术监督局科技计划项目《亚微米尺度颗粒/薄膜能谱成分定量分析方法研究》（项目编号：2014-02）顺利通过专家验收。

扫描电子显微镜配备的能谱仪是快速、准确获得材料微区成分的主要手段。随着亚微米尺度材料的广泛研究，结合场发射电镜及能谱仪的最新发展技术，《亚微米尺度颗粒/薄膜能谱成分定量分析方法研究》项目组通过降低扫描电镜加速电压，减少电子束扩散范围，并以蒙特卡罗法模拟低电压下电子束的运动轨迹，从而确定合适的低加速电压。同时建立常见元素的低加速电压EDS标准谱图库，解决低加速电压EDS标准谱图数据库缺失的问题，并建立了亚微米尺度单颗粒、薄膜的吸收修正模型，优化低加速电压下的定量校准方法。项目组发表文章4篇，根据项目研究方向建立了相应检测方法，通过了新项目评审。

该项目成果填补亚微米尺度能谱定性定量分析的空白，为亚微米尺度材料微区成分分析提供了技术支撑。将项目的研究成果应用于陶瓷固相反应烧结机理研究中，可以有效的进行反应机理研究，提高工作效率；将项目的研究成果应用于无损情况下确定镀层厚度研究中，可以快速、准确地确定镀层厚度，降低测试成本。