当温度和压力高于水的临界点（375°C/770°F 和 22.1 MPa/3,200psi）时，有机废物迅速被水中的氧化剂彻底氧化。超临界水的特性可以使有机碳极高效、快速地氧化为二氧化碳，即便存在使用非超临界氧化方式时会造成负干扰的氯化物及其他无机物也无妨。而且使用 SCWO 技术的 TOC 分析仪对维护和校准的要求也不高。

如今，SCWO 技术的研究和开发主要集中在处理各种有毒有害的有机废物。GE分析仪器是首家将此技术应用于商业实验室 TOC 分析仪的公司。

使用超临界水氧化（SCWO）专利技术还可用于准确测量炼油厂普遍遇到的有机物含量。

GE Sievers InnovOx 实验室型和在线型 TOC 分析仪均采用了超临界水氧化技术（SCWO）。