近日，布鲁克公司在2017显微镜和微观分析会议上展示了世界上第一个用于分析单层或多层组成和厚度的软件包X-Method，可以通过XTrace微焦X射线源扫描电子样本激发获得的电子显微镜图像。该软件能够对厚度范围从几纳米到40微米的薄膜和多层结构进行表征，而不需要对样品进行横截面。

与具有高能电子的样品激发相比，X射线激发可以显著改善检测限，特别是对于较高Z元素，并且还能够获得关于表面下几十微米的材料的信息。这些特性使X-Method与X-Trace结合，成为SEM中叠层厚度和成分分析的理想工具。典型的层厚度应用包括对印刷电路板，引线框架和芯片载体上的连接器引脚或焊料凸块以及太阳能电池上的涂层的分析。

XMethod软件包含强大的方法编辑器，可以创建基于标准或基于标准的多层定量方法及其校准。

布鲁克纳米分析部门产品管理高级总监Andreas Kahl表示：“作为独立的Micro-XRF仪器的领先供应商，我们对X-Method的引入感到自豪，SEM用户现在也可以利用Micro-XRF技术分析薄膜、多层结构或涂层。”