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兵器214所全国率先将MEMS技术“军转民”

发布时间:2017-11-15     来源:安徽网

据中安在线蚌埠新闻网报道,1110日,中国MEMS传感器暨集成电路产业发展(蚌埠)高峰论坛产品发布会举行。记者从会上获悉,MEMS工艺技术突破产品化瓶颈,兵器214所全国率先将该技术军转民,并实现产品化。

产品发布会上,MEMS加速度计、陀螺仪、微惯性测量单元、振动传感器、压力传感器及其信号处理芯片等产品,以及EMCCD微光成像器件及组件等新产品一一亮相。

据了解,MEMS技术,又称微机电系统技术,是一种将微电子技术与机械工程完美融合在一起的工业技术。对于MEMS,可能很多人并不熟悉,其实它早就出现在我们的生活中。除了在智能化弹药等军用领域广泛应用外,MEMS还获得北斗导航的青睐,修正和提高卫星导航的精度,像无人机、车辆安全检测、VR/AR头戴式设备、智能手机,甚至健身手环等常见的电子产品,MEMS也早有涉足。

 “MEMS本身就是双用技术,既可以军用,也可以民用,军民融合是大势所趋。我们所也一直在军用技术民用化、军工技术产业化方面不懈探索和尝试。兵器214所副所长徐春叶向记者介绍,就技术体系和产业链而言,MEMS有很强的创新驱动发展优势,兵器214所将结合汽车、电子信息、物联网、智能手机等民用领域特点,加速推进军工技术转化,通过军民深度融合实现社会资源大整合。

据悉,兵器214所即华东光电集成器件研究所,是中国兵器工业集团公司直属的唯一的微电子技术专业研究所,“十一五”末以来,一直致力于MEMS产品的研发。目前,该所已具备比较完善的MEMS设计平台、工艺加工平台和测试平台,已形成抗高冲击高G值加速度计、高精度抗高冲击低G值加速度计产品,高精度抗高冲击MEMS陀螺仪、微惯性测量单元、三轴MEMS振动传感器组件,以及MEMS高温压力传感器等系列化产品。

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