传感器技术是现代测量和自动化系统的重要技术之一，从宇宙开发到海底探秘，从生产的过程控制到现代文明生活，几乎每一项技术都离不开传感器。近年来，我国的传感器技术正飞速发展，应用领域也在不断扩大。在传感器产业化发展中，诞生了一批“尖子生”企业。

SIA联盟是什么？

伴随着物联网和智能制造的兴起，智能传感器也得到了广泛地关注。近年来，我国政府对智能传感器产业的发展加大扶持力度，国家和地方都出台了针对传感器的相关政策。

中国传感器与物联网产业联盟在此背景下于2016年成立，联盟由工业和信息化部指导和支持，通过联合联盟成员单位以及各省市级物联网、传感器联盟、协会及其他相关行业组织，产业协会，发挥产学研合作，整合资源优势，加快传感器、智能硬件、物联网应用等核心技术研发，推动我国物联网产业核心技术及其应用的关键产品的标准化。

2020年，SIA联盟正式启动“SIA感知领航优秀项目征集”，吸引了众多优秀企业参与，沈阳仪表科学研究院有限公司（下文简称“沈阳仪表院”）就是其中的一家。

传感器研发“国家队”

沈阳仪表院是始建于1961年的国家级科研院所，1999年转制为企业，现隶属于中国机械工业集团有限公司。作为中国机械工业仪器仪表行业的创新型领军企业，从七·五科技攻关就开始承担传感器的国家科技攻关项目，经过60年的创新发展，现已完成科研项目1794项，获得奖励407项，授权专利451项；完成标准472项。

作为传感器国家工程研究中心的依托建设单位和传感器核心研发“国家队”，沈阳仪表院始终以构建传感器领域国家科技力量，服务国家战略所需为己任，瞄准国内重点领域高端传感器元器件“卡脖子”问题，不断攻坚克难，开展技术与产业化研究攻关，解决了大量的卡脖子问题，交出了一份份“硬核”成绩单。特别是硅基压力传感器、精密弹性力学组件、精密光学滤光器件等特种高端产品，解决了国内包括能源、航空、航天在内的多项国家级特殊需求。本次参评的项目就是典型的范例。

在本次项目征集中，沈阳仪表院提交了“SOI高温压力敏感芯片及芯体”项目，并获得了感知领航优秀项目——技术进步类。 这款SOI压力传感器中的核心敏感芯片因使用的是绝缘膜取代PN结隔离技术进行敏感电阻间的电隔离，保障了传感器可在高温条件下长期稳定的工作；产品的使用温度达到-55℃～+300℃。

在国际代表性产品中，美国Kulite公司的XTME-190M系列高温压力敏感器件，工作温度在-55℃～200℃，综合精度达到+0.1% 。俄罗斯微电子工业集团生产的压力敏感器件，使用温度为-40℃～+250℃。
可见，沈阳仪表院的这款产品关键技术指标已达到国外同类产品水平，可以基本替代国外的同类产品，下一步，沈阳仪表院将在进一步提升产品性能、提高产能方面下功夫，为我国高端装备发展提供重要的技术支持和保障。
通过参加本次评选，仪表院希望结识更多的业界伙伴，通过强强联合的方式，尽快推动我国传感器事业的发展，改变目前我国高端传感器受制于国外产品的现状。

布局产业化 助力更多“中国造”

近年来，传感器技术作为信息技术的三大基础之一，是当前各个国家争相竞争拔高的技术之一。目前，全球的传感器市场在不断变化的创新之中，呈现出快速增长的趋势。
     根据研究数据来看，2018 年全球传感器行业市场规模已突破 2000 亿美元，未来 5 年全球传感器市场将保持 8%左右的速度增长，到 2024 年市场规模将会达到 3284 亿美元。 但目前国内高精度、高可靠传感器研发及产业化能力严重滞后于需求，传感器芯片市场国有化率不足10%。因此，无论从应用、创新、企业生存、国家态势、抑或未来发展的层面来看，积极在传感器领域布局都有着十分重要的意义，对我国在科技领域摆脱桎梏、自主独立有着十分深远的影响。 被外界称为全国传感器产业的一张闪亮的“名片”，沈阳仪表院看准5G、AI技术发展所带动的市场需求，顺应行业发展趋势，多年来，已形成了芯片、传感器、智能仪表、光机电一体化装备、仪表成套系统等一条完整的产业链。满足从晶圆端开始到传感器、变送器的全部生产制造，向着解决国内工业基础传感器有“器”无“芯”的尴尬局面而努力。

沈阳仪表院还打造了国内最具实力3个产业化基地，成绩亮眼。其中，硅基传感器产业化基地可达到传感器年产业规模1.2亿，传感器全产业链技术成果转化创造市场价值累计超过十亿元，带动仪器仪表及相关行业间接经济效益百亿元；金属弹性元件研发和产业化基地是国内领先的运载火箭发动机用精密金属波纹管研发基地，拥有近百项关键工艺与装备；精密光学薄膜器件研发和产业化基地，具有年产100万件光学薄膜滤光器件能力，在国内市场占有率达到了60~70%，30%产品出口国际市场。
    自主研发，道阻且长。从短期来看，沈阳仪表院将市场先导、创新驱动、科研支撑，以战略新兴产业、现代制造业、现代制造服务业、传统优势工业领域为目标市场，打造线上线下协同新型服务方式，实现产业基础高级化、产业链现代化。
    展望2035年，沈阳仪表院希望在高端仪器仪表与传感器、高端智能设备与关键零部件领域，实现重大技术突破，基本建设成为核心技术能力突出、创新能力强的世界一流的现代化创新型领军企业。