中国科学技术大学理化科学实验中心内的两款国仪量子扫描电镜

近日，中国科学技术大学理化科学实验中心新安装了国仪量子自主研制的首台超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X。目前，该设备已完成前期调试，即将投入试运行。

PART.1 技术指标    

超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X

SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜，其分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术（Super Tunnel）以及镜筒工艺升级，实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓，扩展接口增加至16个，快速换样仓最大支持8寸晶圆（最大直径208 mm），极大扩展应用范围。高级扫描模式和自动功能增强，带来了更强的性能和更好的体验。

仪器特点

·超高分辨率成像，达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

·样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术，挑战极限样品拍摄场景

·高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计，可搭配整体罩壳设计，极大减弱环境对极限分辨率的影响

·最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓，满足半导体和科研应用需求

PART.2 应用案例