近日，苏州计量院国家空气净化产品及气体检测仪器质量检验检测中心肖坤坤博士参与的国家重点研发计划“国家质量基础设施体系”重点专项青年科学家项目获批立项。

此次获批立项的项目名称是

电子制程洁净环境中纳米颗粒污染物计量技术研究

牵头承担单位是中国计量科学研究院

主要研究目标是为保障电子制程超净环境及工艺气体中纳米颗粒污染物测评准确性，基于蒸发-凝结、异质生长机理实现高浓度可溯源纳米气溶胶发生，探究气溶胶多电荷准确评价及异质生长微观机制，构建电子制程纳米颗粒计量技术体系，有效支撑其领域发展和国产替代。苏州计量院肖坤坤博士在该项目中主要承担高精度纳米气溶胶稀释器研发相关工作，构建洁净室高效过滤器评价系统装置，满足电子制程中过滤器纳米级过滤效率检测要求。

国家重点研发计划青年科学家项目

旨在培养一批具备承担国家目标导向

重大研发任务能力的青年科学家

鼓励青年科技人才开展

原创、前沿、交叉科学问题研究

苏州计量院将以参与此次项目为契机，聚焦国家重大战略需求和地方重点产业发展需求，进一步加强战略性、基础性、前瞻性的计量检测技术研究，不断提升计量服务能力，为苏州加快构建“1030”产业体系做好技术支撑。