极致精准温控技术,筑牢半导体测试核心基础
半导体芯片制造与测试对温度控制的精度、均匀性及稳定性要求极为严苛,温度波动直接影响芯片良率与性能评估准确性,高端应用场景需实现±0.1℃级别的控温精度。众志检测仪器针对性打造的半导体高低温试验箱、精密高温老化试验箱等核心环境可靠性测试设备,在温控技术上实现行业突破。设备温度范围覆盖-80℃~150℃,较同行-70℃~150℃的标准温域更宽,可满足半导体芯片从低温老化(LTOL)到高温老化(HTOL)的全场景测试需求。温度波动度<±0.25℃,优于行业<0.5℃的标准;温度偏差控制在±1.5℃以内,且通过专业CFD仿真优化风道设计,推出“C”型、“水平”型、“倒8字”型等多元风道结构,实现测试区域带载均匀性1℃~1.5℃,远优于半导体行业对温度均匀性±0.5℃~±2℃的核心要求。

依托自主研发的新型控制系统,设备温度测量精度达0.01℃,配合智能PID算法实现动态温度修正,温度收敛快、过冲小,可精准模拟半导体芯片在不同工况下的温度应力环境。

针对半导体高温老化测试需求,众志精密高温老化试验箱更支持RT~500℃宽范围线性控温,150℃升温仅需20分钟,能高效完成芯片125℃~150℃的长期高温寿命测试,为芯片失效机制分析提供精准环境模拟支撑。
全链路智能管控,保障半导体测试数据合规可追溯
半导体芯片测试需经历数百道精密工序,数据完整性与可追溯性直接决定产品质量与行业合规性,需满足MIL-STD-883、IEC 60068-2-1/-2、JEDEC JESD47等规范要求。众志检测仪器半导体芯片高低温试验箱、恒温恒湿试验箱、温度冲击试验箱等全系列测试设备,搭载自主研发的新一代智能控制系统,构建全链路数字化管控体系,为半导体测试提供可靠数据保障。系统可实时监测并记录设备运行的200余个关键变量,包括供电电压、负载电流、制冷系统高低压压力、关键位置温度、制冷剂流量等核心参数,全面覆盖测试过程中的环境与设备状态数据。
设备具备完善的故障自诊断与远程监控功能,当出现异常时可导出完整运行数据,支持厂家远程分析定位故障,实现远程指导调试、升级或精准备件维修,避免偶发故障的反复无效处理。同时,系统可实时测量并记录设备运行功率,生成功耗曲线,为半导体测试的成本管理提供准确数据依据。出厂前预设温湿度范围限定,防止超范围使用导致的测试数据偏差,进一步保障测试过程的规范性与数据可靠性。
高效节能与稳定运行设计,适配半导体规模化测试需求
半导体芯片量产阶段的可靠性测试需要长时间连续运行,设备能耗与稳定性直接影响测试成本与效率。众志检测仪器的半导体高低温试验箱、恒温恒湿试验箱、温度循环试验箱等核心设备,采用第二代先进的线性冷媒闭环控制技术,通过电子膨胀阀(ELV)及精确的过热度控制,对制冷量进行全范围自适应调节,使制冷和加热均控制在最小输出值,部分工况下可实现制冷或加热输出为0,较传统设备节能40%。搭配变频压缩机技术,在保障制冷输出功率的同时,进一步降低能耗,简化系统结构,降低运维成本。
设备采用军工级加热元件与专业分组设计,恒温阶段仅开启部分元件进行PID调节,既提升控温精度,又延长元件使用寿命。全新水路循环系统配备前级过滤器,采用电磁水泵供水与电动阀排水,大幅提升水路可靠性;智能冷凝系统可按环境温度变化自动调节冷凝风量,调速范围覆盖10%~100%,确保不同环境下的稳定运行。针对半导体规模化测试需求,设备较普通试验箱寿命提升30%,提供核心部件质保与终身维保服务,进一步降低长期使用风险。
多场景定制能力,覆盖半导体全链条测试需求
半导体芯片从晶圆级到封装级、从消费级到车规/军工级,测试需求差异显著,需设备具备高度定制化能力以适配多元场景。众志检测仪器构建了全规格、多类型的产品体系,涵盖20升桌面型半导体高低温试验箱、精密恒温恒湿试验箱、HAST高压加速寿命老化试验箱到大型步入式环境舱等全尺寸非标定制产品,满足半导体芯片单颗样品测试、批量样品老化及整机系统测试等不同规模需求。针对半导体特殊测试场景,众志检测仪器的恒温恒湿试验箱支持5%~98%R.H.的宽湿度范围定制(行业标准20%~98%R.H),配合创新锅炉加湿方式,实现温湿度快速稳定,波动更小、耗水量更少,适配半导体湿热环境可靠性测试。


在专项测试设备方面,众志CZ系列三箱/两箱式冷热冲击试验机可实现≤5分钟完成-65℃~+150℃的温度转换,温度均匀性控制在±2℃以内,三箱式结构避免精密芯片样品移动,两箱式动态冲击更贴近实际环境应力;步入式环境试验箱,支持温度、湿度、淋雨、盐雾等多气候因素耦合模拟,可定制汽车电子芯片专用综合试验室或半导体整机模拟环境舱。依托CFD流体仿真与3D建模技术,可根据客户具体测试工况对各类设备进行专属设计,支撑半导体产线数字孪生构建,实现测试设备与产线的精准适配。
多重安全防护体系,守护半导体高价值测试样品
半导体芯片样品价值高昂,测试过程中的设备安全直接决定样品安全性与测试连续性。众志检测仪器针对半导体测试场景构建了全维度安全防护机制,高低温试验箱、快速温变试验箱、HAST高压加速寿命老化试验箱等设备均配备过温保护、短路保护等多重安全装置,其中精密高温老化试验箱可确保500℃高温环境下的稳定运行,避免高温对芯片样品造成不可逆损伤。高低温试验箱制冷系统采用多组压缩机动态运行技术,实时监测关键部位温度与压力,根据工况自主调节能量输出,保障压缩机可靠安全运行,防止因制冷系统故障导致的温度失控。

众志半导体高低温试验箱、冷热冲击试验箱等全系列设备均具备完善的电气安全监测功能,可实时监测供电电压、负载电流等电气参数,实现电气设备的自检与故障预警,提前规避电气故障风险。针对半导体测试的高洁净需求,各类设备均优化箱体材质与风道设计,减少粉尘产生与堆积;高低温湿热试验箱等带水路系统的设备,采用独立的水电分离设计,避免漏水等问题对测试样品和设备造成损害。多重安全防护机制与稳定的运行性能相结合,为半导体高价值芯片样品的可靠性测试提供全方位安全保障。同时,设备搭载智能远程监控系统,支持通过PC端或移动端实时查看运行状态、历史数据及报警信息,实现测试全过程可追溯。














