近日，江苏省工信厅发布 2026 年度江苏省 “三首两新” 认定产品公示。日联科技“AX9500近纳米级微焦点X射线3D智能工业检测装备”获得2026年首台(套)装备认定。

AX9500聚焦Chiplet堆叠、混合键合、晶圆级先进封装场景，融合日联自研开放式微焦点射线源与AI+CT智能检测技术。

通过近纳米级三维断层成像，精准捕捉并识别晶圆凸块桥接、芯片冷焊、MEMS制造空洞等关键缺陷，填补高端半导体3D无损检测国产装备技术缺口。