MEMS传感器是基于微机电系统的典型传感器件。它是指可以批量制造的，集微结构、微传感器、微执行器以及信号处理和控制电路于一体的器件或系统，是半导体产业的核心技术之一，也是物联网的重要组成部分。

与传统的机械传感器相比，MEMS传感器具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化等特点。在微米量级的特征尺寸MEMS传感器可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。因此，MEMS传感器正逐步取代传统机械传感器的主导地位，在消费电子产品、汽车工业、航空航天、机械、化工及医药等领域得到广泛的应用。

从产业链环节来看，MEMS传感器产业的上游产业链包括新材料、新工艺、新的制造设备等。MEMS传感器材料分半导体材料、陶瓷材料、金属材料和有机材料四大类。下游应用与工业、汽车电子产品、通信电子产品、消费电子产品、专用设备等相关联。由此可知，MEMS传感器产业上下游所涉及的领域范围非常广泛。

中国大力支持MEMS传感器发展，已成全球增长引擎

我国对MEMS传感器十分重视，出台了系列文件大力支持其发展。例如，在我国发布的《中国制造2025》和《国务院关于积极推进“互联网+”行动的指导意见》中均提及要大力推动传感器等智能感知元器件的发展和技术突破。“863”计划和国家科技重大专项均部署了一批MEMS传感器的研发和产业化项目。

因此，尽管MEMS传感器在我国商业化的时间不到10年，我国MEMS传感器行业在快速发展下，已成为全球MEMS传感器行业的增长引擎，构建了从科研、产品开发、设计到代工制造、封装测试、下游应用的完整产业链，重点产品包括运动类、声学类、射频类、红外成像等多个领域。

中国MEMS传感器产业链趋于完整，主要分布在长三角、珠三角地区

在中国MEMS产业链中，科研环节上，我们有包括清华北大等众多高校以及科研机构；产品研发则主要包括括上海微技术工业研究院、苏州纳米城、无锡物联网等单位；设计环节有MEMSIC、硅睿科技、敏芯微电子等；代工制造包括中芯国际、华虹宏力、CSMC、ASMC、耐威科技；封装测试包括长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技等；下游应用包括智能手机、平板电脑、汽车、工业等领域。

应用领域上，主要有消费移动领域、汽车与工业领域和生物与医疗领域等。其中，我国MEMS企业主要分布在消费与移动领域和汽车与工业领域；主要产品包括压力传感器、麦克风、红外热成像等。

在区域分布方面，根据SITRI机构研究，我国MEMS企业主要分布在上海、苏州、无锡等地，分别占比19%、18%和16%。长三角、珠三角为产业集中区域。