近日，上海计量院机械制造所成功申报国家重点研发计划专项两项。

“硅基MEMS高深宽比三维结构的干涉显微无损测量技术”是国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项，项目由南京理工大学牵头申报，上海计量院与浙江大学、中国电子科技集团公司第十三研究所作为主要课题负责单位参与申报，上海计量院负责课题三“测量系统的量值溯源、校准与误差补偿”。项目将研制硅基MEMS高深宽比结构的智能化快速无损测量系统，通过专用工艺线接口，实现在超净环境下3种工艺线上的验证测量。

“跨尺度微纳米三坐标测量基础理论与技术”是国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项，项目由合肥工业大学牵头申报，上海计量院与哈尔滨工业大学、304所、中科院微电子所、中国计量大学作为主要课题负责单位参与申报，上海计量院负责课题三“非接触纳米定位技术”。项目将研究三维纳米位移和定位的测量理论与技术，研制高分辨力三维组合纳米测头、微纳米三坐标测量机样机，在精密微型零件加工和微纳制造领域进行试验验证。

国家重点研发计划事关产业核心竞争力、整体自主创新能力和国家安全的重大科学技术问题，旨在突破国民经济和社会发展主要领域的技术瓶颈。上海计量院此次的成功申报，无论在项目的质量和数量上，还是在研究内容、经费规模及合作上都有创新和突破。上海计量院将打破原有思维模式，积极探索跨行业、跨单位、跨部门的科技项目合作模式，联合国内著名高校、科研院所和龙头企业协同创新，全力以赴建设与上海张江综合性国家科学中心相适应的质量技术基础平台。